標定干涉儀可用于15米以的測量范圍,專為高精度測量定位軸的長度、角度和直線度。同時還可以實現水平和垂直軸的直線度以及光學旋轉角度的測量。干涉儀使用同步5軸測量系統(tǒng)使這一切成為可能。
測量系統(tǒng)所使用反射鏡組是一組空心反射鏡和一個可旋轉沃拉斯頓棱鏡的組合。其他配件還包括用于檢測平直度的鏡子和用于檢測90°偏轉的鏡子。
· 同步實現超高精度測量三通道長度、俯仰偏擺角度及直線度的測量
· 測量快速、簡便、可靠
· 干涉儀測頭及反光鏡角度可調整
· 干涉儀測頭及光束方向便于進行整體調節(jié)
· 三個測量通道使用一致的激光頻率進行測量
· 可實現高精度的角度測量
· 高精度校準測量軸、機械工具以及坐標測量儀器
· 可作為激光干涉測量的基礎標準
· 高精度同步測量長度及角度
· 差動式測量
工作原理: